NEXIV VMF-K6561 คือรุ่นล่าสุดในซีรีส์ NEXIV 3D Confocal ของ Nikon ซึ่งพัฒนาต่อยอดจากเทคโนโลยีที่ได้รับการพิสูจน์แล้วของซีรีส์ NEXIV VMF-K โดยมาพร้อมแท่นวัดขนาด 650 × 610 มม. ที่สามารถวัดแผงขนาดใหญ่ 600 × 600 มม. ได้ทั้งแผงในการตั้งค่าครั้งเดียว ทำให้สามารถตรวจวัด Panel-Level Packages ได้อย่างครบถ้วนด้วยเทคโนโลยีการวัดความเร็วสูงของ Nikon

คุณสมบัติเด่น:
มาพร้อมแท่นวัดขนาดใหญ่: เพื่อรองรับแผงขนาด 600 × 600 มม. NEXIV VMF-K6561 จึงติดตั้งแท่นวัดขนาด 650 × 610 มม. การวัดทั้งแผงช่วยลดคอขวดในกระบวนการผลิตและลดระยะเวลาในการตรวจวัด นอกจากนี้ กระจกแท่นวัดที่มีความหนามากขึ้นยังช่วยเพิ่มเสถียรภาพในการวัดอีกด้วย

คุณภาพการวัดระดับใหม่
NEXIV VMF-K Series ของ Nikon ยกระดับระบบการวัดแบบเดิมด้วยระบบออปติคอลคอนโฟคอลขั้นสูง ซึ่งออกแบบมาเพื่อเพิ่มความเร็วในการวัด ช่วยให้ผู้ใช้งานสามารถวิเคราะห์วัสดุและชิ้นส่วนหลากหลายประเภทได้อย่างมีประสิทธิภาพและแม่นยำยิ่งกว่าที่เคย
ระบบนี้รองรับการตรวจวัดชิ้นงานที่มีรูปทรงซับซ้อน รวมถึงพื้นผิวที่มีคอนทราสต์สูงและวัสดุโปร่งใส ช่วยให้สามารถเก็บข้อมูลการวัดที่ละเอียดซึ่งเดิมทำได้ยาก ความสามารถในการวัดแบบ 2D และ 3D ภายในระบบเดียวช่วยลดเวลาการตรวจสอบลงอย่างมากเมื่อเทียบกับวิธีการแบบเดิม ทำให้กระบวนการควบคุมคุณภาพรวดเร็วและครอบคลุมยิ่งขึ้น

ความสามารถด้านการวัดด้วยระบบออปติคอลที่เหนือกว่า
NEXIV VMF-K Series เพิ่มประสิทธิภาพการวัดด้วยระบบออปติคอลอย่างมาก รองรับการตรวจวัดแบบ 2D และ 3D ของชิ้นงานหลากหลายประเภทได้อย่างแม่นยำ ระบบคอนโฟคอลช่วยให้สามารถวัดวัสดุโปร่งใสและพื้นผิวที่มีคอนทราสต์สูงได้อย่างเที่ยงตรง พร้อมเพิ่มประสิทธิภาพในการวิเคราะห์พื้นผิวและความสูง เหมาะอย่างยิ่งสำหรับการตรวจสอบชิ้นงานที่มีรูปทรงซับซ้อนและโครงสร้างขนาดเล็ก โดยเฉพาะในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์และการผลิตชิ้นส่วนขนาดเล็ก

การวัดความเร็วสูง
NEXIV VMF-K Series ผสานการวัดแบบ 2D และการวัดความสูงไว้ในเครื่องเดียว ให้ประสิทธิภาพการทำงานสูงกว่ารุ่นก่อนถึง 1.5 เท่า ระบบออปติคอลแบบคอนโฟคอลสามารถวัดข้อมูล 2D และความสูงได้พร้อมกันภายในพื้นที่การมองเห็นเดียว ช่วยลดเวลาในการวัดโดยไม่ลดทอนความแม่นยำ

รองรับการใช้งานที่หลากหลาย
NEXIV VMF-K Series เหมาะสำหรับการวัดชิ้นส่วนเซมิคอนดักเตอร์หลากหลายประเภท เช่น Probe Card และ Bonding Wire ทำให้เป็นเครื่องมือสำคัญสำหรับงานตรวจสอบและควบคุมคุณภาพในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ โดยรวมงานวัดหลายประเภทไว้ในระบบเดียวอย่างมีประสิทธิภาพ

รองรับงานเซมิคอนดักเตอร์ขั้นสูง
NEXIV VMF-K Series ทุกรุ่นมาตรฐานติดตั้งเลนส์วัตถุ 45x เพื่อรองรับการวัด Wafer-Level Packaging (WLP) ช่วยให้สามารถตรวจสอบโครงสร้างขนาดเล็กมากได้อย่างแม่นยำ ซึ่งมีความสำคัญต่อการควบคุมคุณภาพของชิ้นส่วนเซมิคอนดักเตอร์ที่มีขนาดเล็กลงอย่างต่อเนื่อง

รองรับการวัดระยะยาว
NEXIV VMF-K Series สามารถวัดระยะที่ยาวเกินขนาดพื้นที่การมองเห็นได้อย่างแม่นยำ โดยยังคงรักษาความเที่ยงตรงของผลการวัด เหมาะสำหรับงานวัดชิ้นส่วนเซมิคอนดักเตอร์ที่ต้องการความแม่นยำของตำแหน่งและระบบพิกัดในระยะยาว

การวัดชิ้นงานที่มีคอนทราสต์สูงอย่างเสถียร
ด้วยระบบออปติคอลแบบคอนโฟคอลขั้นสูง NEXIV VMF-K Series สามารถวัดชิ้นงานที่มีคอนทราสต์สูงได้อย่างเสถียร ให้ภาพที่คมชัดและแม่นยำ แม้กับชิ้นงานที่มีความแตกต่างของความสว่างหรือการสะท้อนแสงสูง

รองรับการวัดชิ้นงานโปร่งใสและบางเป็นพิเศษ
NEXIV VMF-K Series สามารถวัดชิ้นงานที่โปร่งใสและบางมากได้อย่างแม่นยำ ซึ่งเป็นข้อจำกัดสำคัญของระบบวัดด้วยแสงทั่วไป ทำให้เหมาะสำหรับการวัดฟิล์มโลหะ ฟิล์มเคลือบ และสารโฟโตรีซิสต์ในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ตลอดจนชิ้นงานโปร่งใสอื่น ๆ

NEXIV VMF-K Series ผสานการวัดด้วยระบบออปติคอลแบบ 2D และ 3D พร้อมเพิ่มประสิทธิภาพการวัด Probe Card ได้สูงกว่ารุ่นก่อนถึง 1.5 เท่า ติดตั้งเลนส์วัตถุ 45x และแหล่งกำเนิดแสง LED แบบ Confocal ที่มีอายุการใช้งาน 30,000 ชั่วโมง รองรับการวัด Wafer-Level Packaging และการวัดระยะยาว เป็นไปตามมาตรฐาน SEMI S2/S8 เหมาะสำหรับงานด้านเซมิคอนดักเตอร์และวิศวกรรมความแม่นยำ

• NEXIV VMF-K3040
  ระยะการเคลื่อนที่ (XYZ): 300 × 400 × 150 มม.
• NEXIV VMF-K6555
  ระยะการเคลื่อนที่ (XYZ): 650 × 550 × 150 มม.
• NEXIV VMF-K6561
  ระยะการเคลื่อนที่ (XYZ): 650 × 610 × 150 มม.

นวัตกรรมและคุณภาพสำหรับทุกสภาพแวดล้อมการผลิต
NEXIV VMF-K Series มอบโซลูชันการวัดด้วยระบบออปติคอลขั้นสูงสำหรับหลากหลายอุตสาหกรรม ระบบคอนโฟคอลช่วยให้การวัดแบบ 2D และ 3D ของชิ้นส่วนหลากหลายประเภทเป็นไปอย่างแม่นยำ รองรับทั้งชิ้นงานที่มีคอนทราสต์สูงและวัสดุโปร่งใส ด้วยประสิทธิภาพการทำงานที่สูงขึ้นและกำลังขยายสูง จึงตอบโจทย์การผลิตสมัยใหม่ที่ต้องการชิ้นส่วนขนาดเล็กและรูปทรงซับซ้อน โดยเฉพาะในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์และอิเล็กทรอนิกส์

Advanced Packaging
NEXIV VMF-K Series ผสานการวิเคราะห์แบบ 2D และการวัดความสูงพร้อมกันภายในพื้นที่การมองเห็นเดียว เหมาะอย่างยิ่งสำหรับกระบวนการ Advanced Packaging เลนส์วัตถุ 45x ที่เป็นมาตรฐานช่วยให้สามารถวัดคุณลักษณะที่มีขนาดต่ำกว่า 2 ไมโครเมตรได้อย่างแม่นยำ รองรับความท้าทายของโครงสร้างอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ที่มีความซับซ้อนเพิ่มขึ้น

การตรวจสอบ Probe Card
NEXIV VMF-K Series เพิ่มประสิทธิภาพการวัด Probe Card ได้ถึง 1.5 เท่าเมื่อเทียบกับรุ่นก่อน พร้อมรักษาความแม่นยำของการวัดแม้เกินพื้นที่การมองเห็น ช่วยให้กระบวนการตรวจสอบรวดเร็วขึ้นและยังคงความถูกต้องครบถ้วน

การตรวจสอบเวเฟอร์ (Wafer Inspection)
NEXIV VMF-K Series ใช้ระบบออปติคอลแบบคอนโฟคอลขั้นสูงเพื่อให้การตรวจสอบพื้นผิวที่มีการสะท้อนแสงแตกต่างกันเป็นไปอย่างแม่นยำ เหมาะสำหรับการวิเคราะห์เวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ เลนส์วัตถุ 45x ช่วยให้สามารถตรวจสอบรายละเอียดขนาดเล็กที่สุดของเวเฟอร์ พร้อมรองรับการวัดแบบ 2D และความสูงพร้อมกันเพื่อเพิ่มประสิทธิภาพการตรวจสอบในแต่ละพื้นที่การมองเห็น

การผลิตแผ่นรองวงจร (Substrate Production)
NEXIV VMF-K Series ได้รับการออกแบบให้เหมาะสำหรับกระบวนการตรวจสอบแผ่นรองวงจร โดยสามารถวัดวัสดุที่มีความท้าทาย เช่น พื้นผิวที่มีคอนทราสต์สูงและวัสดุโปร่งใส ได้อย่างเสถียร ด้วยเทคโนโลยีคอนโฟคอลที่ได้รับการพิสูจน์แล้ว ระบบนี้มีความเร็วในการสแกนสูงกว่ารุ่นก่อนถึง 1.5 เท่า พร้อมคงไว้ซึ่งความแม่นยำที่จำเป็นสำหรับมาตรฐานการผลิตแผ่นรองวงจรในปัจจุบัน

ดาวน์โหลดแคตตาล็อกสำหรับเครื่องมือวัดอุตสาหกรรม และเครื่องมือวัดแบบพกพา ได้ที่นี่