ความละเอียดสูง พร้อมค่าความสอดคล้องเชิงพื้นที่และเชิงเวลาต่ำ
อินเตอร์เฟอโรมิเตอร์แบบ Fizeau ความละเอียด 9 MP ช่วยให้สามารถวัดความถี่เชิงพื้นที่ระดับกลาง (Mid-Spatial Frequency) ได้อย่างมีประสิทธิภาพ ด้วยการออกแบบระบบออปติคัลที่รองรับกล้องความละเอียดสูง การควบคุมค่าความสอดคล้องเชิงพื้นที่และเชิงเวลา และการเก็บข้อมูลความเร็วสูง
ค่าความสอดคล้องเชิงเวลาและเชิงพื้นที่ที่ต่ำ ช่วยให้ได้ระดับสัญญาณรบกวนต่ำกว่าหนึ่งนาโนเมตร พร้อมความสามารถในการวัดซ้ำได้ในระดับสิบพิโคเมตร
การควบคุมค่าความสอดคล้องเชิงเวลาทำได้ด้วยเทคโนโลยี Spectrally Controlled Interferometry (SCI) ที่ได้รับการจดสิทธิบัตรโดย ÄPRE ในโหมดความสอดคล้องต่ำ (Short Coherence Mode) ลายแทรกสอดจะเกิดขึ้นเฉพาะบนพื้นผิวที่ทำการวัด ช่วยกำจัดลายแทรกสอดที่เกิดจากการสะท้อนกลับของพื้นผิวอื่น ๆ
ตัวลดค่าความสอดคล้องเชิงพื้นที่ (Spatial Coherence Buster) ช่วยลดจุดรบกวน (Speckles) ลายแทรกสอดที่ไม่พึงประสงค์ และแหล่งกำเนิดสัญญาณรบกวนอื่น ๆ เพื่อให้การวัดมีความแม่นยำสูง โดยระบบสามารถลด Retrace Error ได้ใกล้เคียง 30 นาโนเมตร แม้ที่ความชันสูงสุดถึง 1,200 Fringe ตลอดทั้งพื้นที่การมองเห็น
ระบบวิเคราะห์ PSD และการกรองข้อมูลขั้นสูง ช่วยรายงานสมรรถนะของพื้นผิวในรูปแบบค่า RMS ที่เข้าใจง่าย ภายในช่วงความถี่เชิงพื้นที่ที่กำหนด
- ช่วงความถี่เชิงพื้นที่: 0.2 l/mm ถึง 120 l/mm
- Fringe Solution: <1200 fr/aperture
- Retrace Error3 ที่ 1200 Fringe: < λ/154
- RMS Simple Repeatability1: <0.03 nm RMS 2σ
- ความแม่นยำ (Accuracy)2: <0.15 nm RMS 2σ
- ค่าการสะท้อนแสงของชิ้นงานที่สามารถวัดได้: 0.5% ถึง 40% (มีตัวเลือกเพิ่มเติม)
1 การทดสอบ RMS Simple Repeatability: ค่าความแปรปรวน RMS จากการวัดต่อเนื่อง 30 ครั้ง โดยแต่ละครั้งเป็นค่าเฉลี่ยจากการวัด 30 ครั้ง
2 การทดสอบ Accuracy: ทำการวัดต่อเนื่อง 30 ครั้ง นำผลทั้งหมดมาเฉลี่ย จากนั้นนำผลการวัดแต่ละครั้งลบด้วยค่าเฉลี่ย ค่าความแม่นยำคือค่าเฉลี่ยบวก 2 Sigma ของผลต่างทั้ง 30 ค่า
3 Retrace Error คือค่า PV Residual Error ระหว่างผลการวัดอ้างอิง (Nulled Measurement) กับผลการวัดที่มีความเอียง 1200 Fringe โดยแสดงผลด้วย Zernike Polynomials 36 ลำดับแรก
4 ความละเอียดของระบบได้รับการพิสูจน์โดยใช้ชิ้นงานทดสอบความละเอียด BPRA ซึ่งพัฒนาโดย LNL/NIST และมีจำหน่ายในเชิงพาณิชย์