อินเตอร์เฟอโรมิเตอร์แบบ Fizeau สำหรับการวัดพื้นผิวเรียบ พร้อมระบบถ่ายภาพความละเอียด 4 เมกะพิกเซล และแหล่งกำเนิดแสงให้เลือก 3 แบบ
S300|HR แบบติดตั้งแนวตั้ง
S300|HR สามารถติดตั้งได้ทั้งในแนวตั้งและแนวนอน โดยภาพตัวอย่างนี้เป็นการติดตั้งในแนวตั้ง ซึ่งเหมาะสำหรับการวัดชิ้นงานพื้นผิวเรียบ หรือชิ้นงานหลายชิ้นที่จัดเรียงเป็นบล็อก เช่น ปริซึมหรือลูกบาศก์
- ความละเอียดของภาพ: 230 µm (4.2 l/mm)
- ความผิดเพี้ยนของภาพ (Image Distortion): <0.06%
- Fringe Resolution: >500 fr/aperture
- Retrace Error3 ที่ 200 Fringe: < λ/154
- RMS Simple Repeatability1: <0.6 nm RMS 2σ
- RMS Wavefront Repeatability2: <0.6 nm RMS 2σ
- ค่าการสะท้อนแสงของชิ้นงานที่สามารถวัดได้: 0.5% ถึง 100% (ระบุได้ตามความต้องการ)
1 การทดสอบ RMS Simple Repeatability: คำนวณค่า RMS จากการวัดต่อเนื่อง 36 ครั้ง โดยแต่ละครั้งเป็นค่าเฉลี่ยจากการวัด 16 ครั้งของโพรงระนาบ (Plano Cavity) ระยะสั้น <2 มม.
2 การทดสอบ RMS Wavefront Repeatability: ทำการวัดต่อเนื่อง 36 ครั้ง (M1, M2, ... M36) โดยแต่ละครั้งเป็นค่าเฉลี่ยจากการวัด 16 ครั้ง จากนั้นนำผลทั้ง 36 ครั้งมาเฉลี่ยเพื่อสร้างค่าอ้างอิงสังเคราะห์ (Synthetic Reference: "Ref") ค่า RMS Wavefront Repeatability เท่ากับ 2 เท่าของค่าเบี่ยงเบนมาตรฐานของผลต่างทั้งหมดระหว่าง Ref และ Mn
3 Retrace Error คือค่า PV Residual Error ระหว่างผลการวัดอ้างอิง (Nulled Measurement) กับผลการวัดที่มีความเอียง 500 Fringe โดยแสดงผลด้วย Zernike Polynomials 36 ลำดับแรก
4 มีตัวเลือกความละเอียดสูงถึง λ/20
ดาวน์โหลด
ดาวน์โหลดแคตตาล็อกสำหรับเครื่องมือวัดอุตสาหกรรม และเครื่องมือวัดแบบพกพา ได้ที่นี่